高纯氮,分子式: N2 性质: 纯度大于99.999%。无色无臭无味的 惰性气体。 相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。 氮气纯化方法主要有 吸附法、 变压吸附法、 膜分离法等。在 集成电路、 半导体和电真空 器件制造中用作 保护气和运 载气, 化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温 扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在 外延、 光刻、 清洗和 蒸发等 工序中,作为 置换、干燥、贮存和输送用气体。 显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中, 液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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