工业气体在我国标准《常用危险化学品的分类及标志》(GB13690-1992)中,通常被划为第2类压缩气体和液化气体。 这类化学品系指压缩、液化或加压溶解的气体。气体经加压或降低温度,可以使气体分子间的距离大大缩小而被压入钢瓶中,这种气体称为压缩气体(亦称为气体, 如氧气、氮气、氩气、氢气等)。对压缩气体继续加压, 适当降温,压缩气体就会变成液体的,称为液化气体(如液氯、 液氨、液体二氧化碳等)。此外,还有一种性质极为不稳定的气体,加压后需溶于溶剂中储存在钢瓶内,这种气体称为溶解气体(如溶解乙炔等)
具体来说工业气体可分为以下14种:
1. 特种气体(Specialty gases) :指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。
2、标准气体(Standard gases) :标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准, 它们具有复现、保存和传递量值的基本作用, 在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校对( [准测量仪器和测量过程, 评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力, 确定材料或产品的特性量值, 进行量值仲裁等。大型乙烯厂、合成氨厂及其它石化企业, 在装置开车、停车和正常生产过程中需要几十种纯气和几+百种多组分标准混合气, 用来校准、定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品质量的仪器。标准气还可用于环境监测, 有毒的有机物测量, 汽车排放气测试, 天然气BTU 测量, 液化石油气校正标准, 超临界流体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元、三元和多元标准气体; 配气准度要求以配气允差和分析允差来表征;比较通用的有SE2M I 配气允差标准, 但各公司均有企业标准。组分的较低浓度为10- 6级, 组分数可多达20余种配制方法可采用重量法, 然后用色谱分析校核, 也可按标准传递程序进行传递。
3、 电子气体(Electronic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、LSI(大规模集成电路) 级、VLSI (大规模集成电路) 级和ULSI (特大规模集成电路)级。
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